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测量显微镜基础

发表时间:2015-06-08 18:06
测量显微镜基础
测量显微镜,历史上是以准确的倍率把工件形状放大以后,通过与模板进行象面比对,进行测量、检查的显微镜。为此,与通常的观察用显微镜不同,它采用与轮廓投影仪相同的远心光路系统,其物镜倍率也很准确。
近年来,使用CCD并辅以必要的测量软件,测量显微镜不仅可以对所摄取的工件视频图象进行窗内坐标测量,依靠测量载物台带动工件移动,还可以实现超视窗的坐标测量,这已经成为它的主流用法。为了适应这种需求,载物台的行程需要更大,计算机数据处理功能也需要更强。
另外,近来随着测量显微镜光学系统制作倍率的更加准确,也可以组合使用具有高倍率观察、微分干涉观察、简易偏光观察等功能的通用型光学头。在高倍率观察时,还可以使用FA(辅助对焦)镜筒进行高度测量,可以通过缩小视在的景深,提高Z轴方向测量的重复精度。测量显微镜配上数码相机,还可以拍摄数码相片。多种选配功能,使得测量显微镜的应用越来越广。


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