尼康CNC影像测量系统全新机型「NEXIV VMZ-S3020」
适合车载电子、半导体零部件的NEXIV新系列
「NEXIV VMZ-S3020」
尼康株式会社（社长：馬立 稔和、东京都港区 ）之子公司，Nikon Solution株式会社（社长：園田 晴久、东京都品川区），针对电子、半导体等精密零部件开发了CNC影像测量系统全新「NEXIV VMZ-S」系列，第一弹发售「NEXIV VMZ-S3020」。
CNC影像测量系统「NEXIV」是运用尼康独特的光学技术和图像处理技术，可自动测量电子、半导体零部件的装置。通过图像分析与高速准确的边缘检测，对于复杂特殊形状的被检物品也能够快速地进行测量。此次发售的「NEXIV VMZ-S」系列产品不仅保持了以往机型「NEXIV VMZ-R」系列产品的精度，还实现了更高的产能。
开发的由来
近年来，汽车行业在自动驾驶与电动汽车市场扩大的背景下，电气化极速发展，用于汽车的电子、半导体零部件不断增加。由于关乎生命安全，所以采用的零件也需要非常严格的品质管控，对测量设备的要求也随之提高。所以，尼康研发并推出了适合于车载电子、半导体零部件等测量用途的CNC影像测量系统「NEXIV VMZ-S」系列。
主要特长
1.高产能
「NEXIV VMZ-S3020」在高精度线性光栅尺和精密载物台提供高精度测量的同时，通过载物台移动和图像处理的高速化，与以往机型「NEXIV VMZ-R」系列产品相比实现了更高的产能。保证了客户公认的精度和再现性，缩短了测量时间。
2.高品质图像，高精度测量
通过无失真的高品质图像，即使不在视场中心附近也能得到可靠的测量结果。另外，根据被检测物品的形状通过同轴表面光、底部透射光、8个扇面环形光的选择与光量・照射方向的调整，可以敏锐的捕捉到难以检测的边缘。而且，通过1000点/秒的高速激光扫描，可以取得样品的截面形状，也可以对应高度方向的形状评价。满足各种各样零部件的测量需求。
3. 卓越的实用性
通过系列产品通用的尺寸测量软件「NEXIV AutoMeasure」，可以畅快有效地进行尺寸测量。另外，以简单形状为对象，增加了将测量程序制作工序的一部分自动化的功能。
而且，为了满足使用NEXIV系列顾客的要求，用于操控载物台和测量头移动的操纵杆单元，运用了更易操作的设计。
主要规格
量程
(X × Y × Z) | 300 × 200 × 200 mm（TZ型 使用低倍物镜时：250 × 200 × 200 mm） |
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| 最小读数 | 0.01 μm |
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| 最大承载重量 | 20 kg（保证精度的载重：5 kg） |
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测量精度
(L为测量长度(㎜)) | EUX,MPE, EUY,MPE（X轴、Y轴精度）：1.2 + 4L/1000 μm
EUXY,MPE （XY轴精度）：2.0 + 4L/1000 μm
EUZ,MPE （Z轴精度） ：1.2 + 5L/1000 μm |
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| 相机 | 黑白/彩色 1/3英寸CMOS |
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变焦镜头型号
* (倍率・视场) | ・1型： （0.5～7.5x ・ 9.33 x 7 ～ 0.622 x 0.467 mm）
・2型： （1～15x ・ 4.67 x 3.5 ～ 0.311 x 0.233 mm）
・3型： （2～30x ・ 2.33 x 1.75 ～ 0.155 x 0.117 mm）
・4型： （4～60x ・ 1.17 x 0.88 ～ 0.078 x 0.058 mm）
・TZ型 ：（1～120x ・ 4.67 x 3.5 ～ 0.039 x 0.029 mm）
・A型： （0.35～3.5x ・ 13.3 x 10 ～ 1.33 x 1 mm） |
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| 自动对焦 | 激光自动对焦（A型是选配）、图像自动对焦 |
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| 灯光* | ・1～4型: 同轴表面光、底部透射光、8个扇面的环形光
（全部采用白色LED光源/1, 2, 3型3种角度、4型1种角度）
・TZ型: 同轴表面光、底部光（VMZ-S3020的低倍除外）、暗场照明
・A型: 同轴表面光、底部光、8个扇面的环形光 （全部采用白色LED光源/1种角度） |
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| 电源规格 / 额定电流 | AC100-240V、50/60Hz / 4A – 2A |
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| 尺寸 (W×D×H/重量) | 本体+底座: 700 × 730 × 1793 mm / 约265 kg
控制箱: 190 × 450 × 450 mm / 约12 kg |
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| 占地大小(W×D) | 2700 × 2400 mm |
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*根据应用的不同，有6种镜头型号可供选择。不同型号镜头所配备的灯光照明系统也会有所不同。
